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Vapor Concentration Monitor IR-300

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  • 產品名稱： Vapor Concentration Monitor IR-300
  • 產品型號：
  • 產品展商：日本HORIBA
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簡單介紹

金屬-有機化學氣相沉積（MOCVD）工藝被廣泛應用于 LED、光學器件和其他元件的制造。 液體和固體前導通過控制溫度、壓力和載體氣流速（泡泡法）輸送到反應室。 在線 IR-300 系列實時測量和反饋氣體濃度。

產品描述

商品詳情

Vapor Concentration Monitor IR-300


概要

 金屬-有機化學氣相沉積（MOCVD）工藝被廣泛應用于 LED、光學器件和其他元件的制造。 液體和固體前導通過控制溫度、壓力和載體氣流速（泡泡法）輸送到反應室。 
在線 IR-300 系列實時測量和報告氣體濃度，為用戶提供以下優勢：

優化過程控制以生產更上等別的
設備提高設備產量并減少廢料
提高可再現性
知道泡沫器何時需要更換擴展 MTTA
減少計劃外干預
減少有價值的前體廢物
實時監測
快速響應和出色的重復性允許實時跟蹤蒸汽濃度變化
多校準曲線功能（可選）
允許測量多達 3 個化學品或范圍
多顯示功能
IR-300 單元頂部的多顯示功能為用戶提供了濃度監測和前體供應線狀態的現場檢查
功能
通過 DeveNet, RS485 和模擬通信連接
簡單,緊湊型
設計采用 124 mm 的VCR尺寸，緊湊且無安裝方向要求，便于集成
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