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產品詳情

EC-5000系列應腔室排氣壓力控制器

  • 如果您對該產品感興趣的話，可以
  • 產品名稱： EC-5000系列應腔室排氣壓力控制器
  • 產品型號：
  • 產品展商：日本HORIBA
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹

應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列 應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列暢銷型號：EC-5104、EC-5105概要 Horiba品牌的EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，

產品描述

商品詳情

應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

暢銷型號：EC-5104、EC-5105 

概要
          Horiba品牌的EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和獨特的蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。

特征

           適合高真空環境使用：不銹鋼質本體
  • 抗腐蝕 
  • 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供 
  • 適合對于腐蝕性氣體的使用 
當排氣端流量被調整到*佳的位置：
  • 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的 
  • 阻止了噴霧的次級沉積 
  • 阻止了危險水蒸氣的擴散此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小
               
  •          此產品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前，必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。

規格

Model                   EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

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