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產(chǎn)品名稱：S48/28低成本大流量質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品展商：日本HORIBA
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

S48/28是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從100-200SLM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號(hào)有4-20mA、0-5V可選。

產(chǎn)品描述

低成本大流量質(zhì)量流量控制器S48/28

S48/28是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從100-200SLM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號(hào)有4-20mA、0-5V可選。

質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn) *高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠 *低壓降

*操作使用方便，可任意位置安裝。

S48 28/HMT質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 28HMT
1	流量規(guī)格	100SLM、150SLM、200SLM
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝方向	任意
5	流量控制范圍	2%～100%
6	流量測(cè)量范圍	（0～100）%
7	零點(diǎn)溫漂	±30mV（15℃～35℃）
8	響應(yīng)時(shí)間	2s（設(shè)定值的±2% F.S）
9	工作環(huán)境溫度	5℃～50℃
10	精度保證溫度	15℃～35℃
11	精度	±1.0%F.S
12	線性精度	±0.5%F.S
13	重復(fù)性	±0.2%F.S
14	工作壓差	＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa
15	耐壓	10MPa
16	泄漏率	1×10^-8 Pa.m³/s
17	接觸氣體材料	橡膠密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡膠
18	管路接頭	3/8英寸卡套
19	供電電源	±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA； +24VDC，250mA
20	設(shè)定信號(hào)	±15VDC：(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ +24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
21	流量輸出信號(hào)	±15VDC：(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA +24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
22	電氣接頭	D-SUB15
23	外形尺寸mm	181(寬)×121（高）×32（厚）

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S48/28低成本大流量質(zhì)量流量控制器

S48/28是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從100-200SLM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號(hào)有4-20mA、0-5V可選。

S48/28是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從100-200SLM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號(hào)有4-20mA、0-5V可選。