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表面粗糙度與零件表面功能有著密切的關系,因此人們在很早以前就認識到測量表面粗糙度的重要性 。 但由于技術工藝水平的落后,*早只能單純依靠人的視覺和觸覺來估計,即通過目測或用手觸摸 試件 與標準樣塊進行比較,隨著生產技術的發展,人們又采用了比較顯微鏡進行比對。這些原始的 測量 方法只能對表面微觀不平度做出定性的綜合評定。自從1929年德國的施馬爾茨(Schm altZ)發明了用 光杠桿進行放大的表面輪廓記錄儀后,人們就一直致力于表面質量檢測技術的 研究,從此開始了對表 面粗糙度的數量化描述。1936年艾博特(Abbott)制成了**臺 車間用測量表面粗糙度的儀器,它是 現在美國Bend公司測微計分廠生產的表面輪廓儀的先驅 。這種儀器用測量距離輪廓峰頂的深度與 支承面積比的關系曲線即艾傅特曲線來表征表面粗糙度。 測量和評定表面形貌的通用方法是 輪廓法,這種方法只需測量工件表面上的幾個截面輪廓,然后再 根據輪廓曲線上的幾何特征計算出評定 表面質量的粗糙度參數,目前世界各國有關表面粗糙度的標 準都是根據輪廓法制定出來的?，F在常用的 表面輪廓測量方法有很多,如觸針方法、各種光學方法 和掃描探針顯微鏡技術等。隨著現代工業的飛速 發展,對零件的加工表面質量提出了越來越高的要 求,而掃描探針顯微鏡技術、高精度粗糙度測量儀器 的發展和數據處理能力的提高,使得三維表面 微觀形貌的測量成為可能。近年來,由于計算機技術、電子 技術、數據處理能力的提高,研制了許 多三維表面微觀形貌測量儀,使得在局部表面上三維評定表面粗糙 度成為可行,而且國際上方興未艾。