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表面粗糙度儀的工作原理

表面粗糙度儀的工作原理
表面的工作原理:
表面質(zhì)量的特性是零件*重要的特性之一，在計(jì)量科學(xué)中表面質(zhì)量的檢測具有重要的地位。*早人們是用標(biāo)準(zhǔn)樣件或樣塊，通過肉眼觀察或用手觸摸，對(duì)表面做出定性的綜合評(píng)定。1929年德國的施馬爾茨(g.schmalz)首先對(duì)表面微觀不平度的深度進(jìn)行了定量測量。
目前，測量表面常用的方法有：比較法、光切法、干涉法、針描法和印模法等，而測量迅速方便、測值精度較高、應(yīng)用*為廣泛的就是采用針描法原理的表面粗糙度測量儀。本文將詳細(xì)討論表面的原理及其改進(jìn)方案。1 傳統(tǒng)表面的工作原理1.1 針描法針描法又稱觸針法。當(dāng)觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時(shí)，由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動(dòng)，把這種移通過電子裝置把信號(hào)加以放大，然后通過指零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來。1.2 儀器的工作原理采用針描法原理的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動(dòng)器、指零表、記錄器和工作臺(tái)等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，其工作原理見圖2，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針**曲率半徑r很小，測量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。圖3為儀器的工作原理主框圖。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度ra值。指零表的作用反映鐵芯在差動(dòng)電感線圈中所處的位置。當(dāng)鐵芯處于差動(dòng)電感線圈的中間位置時(shí)，指零表指針指示出零位，即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。所以，在測量之前，必須調(diào)整指零表，使其處于零位。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號(hào)，如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號(hào)。大量的測試表明，高于400hz的信號(hào)即不是被測表面粗糙度所引的信號(hào)，必須從總信號(hào)中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過)濾波器，它使400hz以下的低頻信號(hào)順利通過，而將400hz以上的高頻信號(hào)迅速衰減，從而達(dá)到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣長度的波度，因此它是一個(gè)高通(高頻能通過)濾波器，使表面粗糙度所引起的高頻(相對(duì)于波度引起的低頻而言)信號(hào)能自由通過。經(jīng)過噪聲濾波和波度濾波以后，剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信號(hào)，再經(jīng)平均表放大器后，所輸出的電流i與被測表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的高度y的**值成正比，然后經(jīng)積分器完成的積計(jì)算，得出ra值，由指零表顯示出來。這種儀器適用于測定0.02-10μm的ra值，其中有少數(shù)型號(hào)的儀器還可測定更小的參數(shù)值，儀器配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便，測值精度高。

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